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CAS No：15730-66-2
中文名称：三(二乙胺基)硅烷
- 英文名称：Tris(Diethylamino)-Silane; Silanetriamine, N,N,N',N',N'',N''-Hexaethyl-; TRIS(DIETHYLAMINO)-SILANE
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- CAS No.： 15730-66-2
- EINECS号：
- 分子式： C12H31N3Si
- 分子量： 245.48
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